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日本CKD半導體通用型直驅馬達小型(ABSODEX) ABSODEX 小型直驅馬達（AX6000M 系列）是 CKD 專為半導體制造場景研發(fā)的行業(yè)最小尺寸直驅解決方案，采用無齒輪直驅技術，消除傳統(tǒng)傳動鏈的間隙與磨損，實現(xiàn)**±10 秒重復定位精度與納米級分辨率**。其核心優(yōu)勢包括： 小型化：外徑 φ80mm、高度 47mm（1.2N?m 機型），重量僅 1.2kg，可直接集成于晶圓檢測探頭。
更新時間：2025-10-30
產(chǎn)品型號：AX6000M
瀏覽量：127
日本CKD半導體通用型直驅馬達(ABSODEX） AX1R 高精度型：分度精度達 15 秒，軸跳動≤0.01mm，適用于晶圓檢測、芯片鍵合等精密場景。 AX2R 高速型：最高轉速 300rpm，響應時間 5ms，支持高速旋轉工作臺與電子元件高速搬運。AX4R 大扭矩型：最大扭矩 1000N?m，可驅動大慣性負載，適用于晶圓傳輸機械臂與封裝設備，提供電磁制動選項。
更新時間：2025-10-30產(chǎn)品型號：AX1000T瀏覽量：124
日本CKD半導體通用型直驅馬達ABSODEX AX1R 高精度型：分度精度達 ±15 秒，軸跳動≤0.01mm，適用于晶圓檢測、芯片鍵合等精密場景。 AX2R 高速型：最高轉速 300rpm，響應時間 5ms，支持高速旋轉工作臺與電子元件高速搬運。AX4R 大扭矩型：最大扭矩 1000N?m，可驅動大慣性負載，適用于晶圓傳輸機械臂與封裝設備，提供電磁制動選項。
更新時間：2025-10-30產(chǎn)品型號：AX1R瀏覽量：106
日本CKD半導體電動執(zhí)行器滑塊型KBZ 一、核心技術特性 超高速與高加速性能 采用交流伺服電機驅動，最快速度達 2500mm/s，加減速度 2G（為 CKD 傳統(tǒng)機型的 2 倍），可大幅縮短半導體晶圓在多工位間的傳輸時間（如曝光、蝕刻設備中的晶圓切換）。這一特性對提升產(chǎn)線整體效率至關重要，尤其適用于高產(chǎn)能需求的量產(chǎn)場景。
更新時間：2025-10-30產(chǎn)品型號：KBZ Series瀏覽量：83
日本CKD半導體電動執(zhí)行器滑塊型KBX 一、核心技術特性 超高速與高加速性能 采用交流伺服電機驅動，最快速度達 2500mm/s，加減速度 2G（為 CKD 傳統(tǒng)機型的 2 倍），可大幅縮短半導體晶圓在多工位間的傳輸時間（如曝光、蝕刻設備中的晶圓切換）。這一特性對提升產(chǎn)線整體效率至關重要，尤其適用于高產(chǎn)能需求的量產(chǎn)場景。
更新時間：2025-10-30產(chǎn)品型號：KBX-T5瀏覽量：120
日本CKD半導體電動執(zhí)行器滑塊型EKS-M 一、核心技術特性 超高速與高加速性能 采用交流伺服電機驅動，最快速度達 2500mm/s，加減速度 2G（為 CKD 傳統(tǒng)機型的 2 倍），可大幅縮短半導體晶圓在多工位間的傳輸時間（如曝光、蝕刻設備中的晶圓切換）。這一特性對提升產(chǎn)線整體效率至關重要，尤其適用于高產(chǎn)能需求的量產(chǎn)場景。
更新時間：2025-10-30產(chǎn)品型號：EKS-04M瀏覽量：103
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