日本CKD半導體電動執行器滑塊型ESD2

日本CKD半導體電動執行器滑塊型ESD2

一、核心技術架構與產品定位

1. 超緊湊結構：控制器體積達行業最小級別（EC07 型僅 120×35×68mm），支持多軸密集安裝，適配半導體設備空間限制。

2. 智能自動識別：控制器可自動識別執行器型號與參數，無需人工配置，大幅縮短調試時間（較傳統型號減少 70%）。

3. 高動態響應：最高速度達 600mm/s，支持 S 型加減速曲線，滿足晶圓傳輸、檢測等場景的快速啟停需求。

二、半導體場景深度適配特性

1. 潔凈環境兼容性

• 采用全密封鋁合金殼體與低發塵潤滑脂，運行時發塵量 < 10 particles/ft3（0.5μm 以上顆粒），符合 ISO Class 5 潔凈室標準。

• 標配 IP4X 防護等級，可選 ESD 防靜電涂層（表面電阻 10?~10?Ω），有效避免靜電對晶圓的損傷。

2. 高精度運動控制

• 重復定位精度達**±0.02mm**，無效空轉 < 0.1mm，滿足芯片鍵合、檢測等納米級工藝需求。

• 支持 7 點定位、63 點定位及脈沖串輸入三種控制模式，通過 EC63 型控制器可實現復雜路徑規劃（如螺旋線、橢圓插補）。

3. 智能監控與預防性維護

• 內置溫度、負載傳感器，通過專用軟件實時監測狀態，提前預警絲杠磨損、電機過熱等潛在故障。

• 采用 “帶潤滑輔助裝置的滾珠絲杠"，維護周期延長至傳統型號的 3 倍以上，降低停機成本。

三、驅動與控制解決方案

1. 多協議兼容驅動系統

• 標配 EC07/EC63 型控制器，支持脈沖串輸入與模擬量控制，可無縫接入 PLC、運動控制器等上位系統。

• 可選 ECPT 型控制器，支持工業以太網協議（如 EtherCAT、Profinet），通信周期低至 1ms，實現多軸同步控制（如 4 軸聯動）。

2. 智能調試工具鏈

• 配套軟件提供可視化編程界面，支持點動、微動、軌跡模擬等功能，參數整定時間縮短 60% 以上。

• 開放 Python API 接口，方便與客戶自研控制系統集成，實現工藝參數的靈活配置。

四、典型應用場景

1. 晶圓檢測與量測

• 驅動光學探頭以 ±0.02mm 定位精度進行 360° 掃描，配合機器視覺實現晶圓表面缺陷微米級識別。

• 在電子束曝光設備中，與激光干涉儀閉環控制，實現 ±0.05μm 定位精度。

2. 芯片封裝與鍵合

• 驅動引線鍵合頭以 600mm/s 速度完成引腳焊接，良率提升至 99.8% 以上。

• 通過 63 點定位功能，實現倒裝芯片凸塊與基板的柔性壓合。

3. 微型機械臂與精密搬運

• 驅動六軸機械臂在晶圓盒與工藝腔室間實現 ±0.02mm 重復定位，支持每小時 200 片晶圓吞吐量。

• 集成力控算法，檢測晶圓抓取時的微小應力變化，防止碎片風險。

五、技術參數與選型指南

六、安裝與維護策略

1. 精密安裝規范

• 安裝基面平面度需≤0.05mm/m，建議使用激光干涉儀校準。

• 采用柔性聯軸器（如梅花聯軸器），避免剛性沖擊損壞絲杠，軸向偏差≤0.05mm，徑向偏差≤0.03mm。

2. 預防性維護方案

• 每運行 200 小時檢查編碼器線纜接口，確保屏蔽接地電阻 < 1Ω，防止高頻干擾影響精度。

• 每 6 個月清潔散熱孔，避免粉塵堆積導致散熱效率下降（建議使用潔凈氮氣吹掃）。

七、差異化競爭優勢與技術支持

1. 成本與交付優勢

• 價格較同類產品低 15-20%，同時保持相近的定位精度（±0.02mm），適合中端市場需求。

• 常規型號備貨充足，交貨周期僅 7-10 天，較同類產品縮短 60%。

2. 定制化能力

• 可提供真空兼容版本（內部氣壓 < 10??Pa）及特殊法蘭接口，適配半導體工藝腔室環境。

• 支持多軸同步控制算法定制，可匹配客戶特定工藝需求（如光致抗蝕劑涂覆的旋轉速度曲線優化）。